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太陽能硅片用電火花線切割與金剛石線切割機效果、效率比較
發布時間:2014-08-23 點擊次數:5820次
前面我們介紹過電火花線切割與金剛石線切割機的比較了,有興趣的朋友可點擊查看《電火花線切割機與金剛石線切割機哪個好》,這里又再寫這么一篇帖子,單純的是想把兩種不同方法切割的結果做個解說。
以我公司的立式數控金剛石線切割機切割的多晶硅為例。
被切割材料:太陽能多晶硅晶體。
規格尺寸為:145mm×126mm。
加工條件:線切割切削液
切割設備:CHSX5630-XL金剛石線切割機
加工詳情:一共切了三片,片加工速度慢,第二片速度加快,第三片速度快。記錄下切割的時間和檢測被加工多晶硅表面的平面度精度情況。
編號為1的多晶硅片,為切割的片,切割時間慢,耗時1個小時。效率達到18270mm²/小時??床怀鼍€痕,摸起來很光滑,類似磨床磨出來的效果。
編號為2的多晶硅片,為切割的第二片,切割時間耗時45分鐘。測量結果:薄處為3.44mm,厚處為3.47mm,表面平整度.03mm。表面效果看起來跟電火花線切割機床切割的多晶硅表面差不多,肉眼能看到線痕,但比電火花線切割的粗糙度更好一些。
編號為3的多晶硅片是第三片,切割時間為30分鐘??梢悦黠@看出金剛石線痕。檢測結果薄處厚度為4.90mm,厚處為4.95mm,表面平整度.05mm。
圖為電火花線切割機床切割的單晶硅
試驗結果:電火花線切割機床切割多晶硅的加工效率為5000mm²/小時,用金剛石線切割機床切割多晶硅的效率快可達30000mm²/小時。